針對半導(dǎo)體?業(yè)設(shè)計的PLASMA處理及性能檢測整體解決?案,可根據(jù)產(chǎn)品特性及客?需求,提供射頻等離??動化系統(tǒng)或微波等離??動化系統(tǒng),并提供完善的在線式及腔體式產(chǎn)品系列予以選擇。