等離子態(tài)是物質(zhì)第四態(tài)，可通過對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使之電離化成為等離子體。等離子清洗就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì)，從而優(yōu)化材料表面性能，實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。

等離子清洗被稱為干式清洗，有別于大眾所認(rèn)知的清洗，清洗過程是環(huán)境安全的過程，不涉及刺激性化學(xué)品。等離子體會(huì)在材料表面留下自由基，以此增加該表面的粘合性。

等離子清洗機(jī)是安全、綠色和高效的等離子清洗方式。可在不影響材料特性的情況下，進(jìn)行材料表面污染物去除。可廣泛應(yīng)用于PCB板封裝過程中遺留臟污的清除。此外，等離子清洗機(jī)應(yīng)用在6C、FPD顯示、LED、半導(dǎo)體行業(yè)，是提升產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵技術(shù)。

 等離子清洗是一新興的領(lǐng)域，該領(lǐng)域結(jié)合等離子物理、化學(xué)和氣固相界面的化學(xué)反應(yīng)。需跨多種領(lǐng)域，包括化工、材料和電機(jī)。因此將極具挑戰(zhàn)性，也充滿機(jī)會(huì)，隨著新能源行業(yè)及半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，此方面應(yīng)用需求將越來越大。