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半自動快速退火爐RTP-SA-12

產(chǎn)品對比

下載

產(chǎn)品特點

  • 紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷;
  • 燈管功率PID控溫,可精準(zhǔn)控制溫度升溫,保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性;
  • 采用平行氣路進氣方式,避免退火過程中冷點產(chǎn)生;
  • 標(biāo)配兩組組工藝氣體,最多可擴展至6組工藝氣體;
  • 大氣與真空處理方式均可選擇,進氣前氣體凈化處理;
  • 可測單晶片樣品的最大尺寸為12英寸(300*300mm)。
  • 產(chǎn)品概述
  • 規(guī)格參數(shù)
  • 硬件選配

配件類型

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