玻璃是日常生活中非常常見(jiàn)的一種材料，具有化學(xué)惰性、性質(zhì)穩(wěn)定，除了用作建材外，玻璃通過(guò)涂層、覆膜等工藝后，還可以作為觸摸屏、鋼化膜等。玻璃本身的潤(rùn)濕性能比較弱，涂層、覆膜則需要潤(rùn)濕性能比較強(qiáng)，因此涂層、覆膜前的清洗成為了不可缺少的工藝環(huán)節(jié)。

等離子清洗是一種干式清洗方式，當(dāng)玻璃基片處在等離子體中時(shí), 由于表面受到等離子體中的荷能粒 (電) 子的 轟擊, 首先基片表面吸附的環(huán)境氣體、水汽、污物等被轟掉, 使表面清潔活化, 表面能提高, 當(dāng)沉積時(shí)薄膜原子或分子更好地浸潤(rùn)基片, 增大范德華力。其次玻璃基片表面經(jīng)過(guò)荷能粒 (電) 子的撞擊, 從微觀上看, 基片表面會(huì)形成許多凹坑、孔隙, 在沉積過(guò)程中薄膜原子或分子進(jìn)入這些凹坑、孔隙, 便產(chǎn)生了機(jī)械鎖合力。此外基片表面的粗化, 使實(shí)際的表面積增大, 這對(duì)增大范德華力、擴(kuò)散附著力和靜電力都是有利的, 因此增大了總的附著力。利用等離子清洗機(jī)處理完后玻璃材料能夠立即進(jìn)入下一步的加工過(guò)程。因而，玻璃等離子清洗機(jī)是一種穩(wěn)定而又高效的工藝過(guò)程。

一、等離子處理前檢測(cè)

① 帶字玻璃樣品清洗前接觸角數(shù)據(jù)

② 不帶字玻璃樣品清洗前接觸角數(shù)據(jù)

二、等離子處理后處理

真空等離子清洗機(jī)實(shí)驗(yàn)參數(shù)
處理產(chǎn)品	玻璃樣品
等離子設(shè)備	SPV-100/300W功率
等離子處理時(shí)間	180m
清洗結(jié)果	帶字（單位：度）	25-29	不帶字（單位：度）	25-36
反應(yīng)氣體	氬氣100sccm

玻璃樣品臺(tái)階面（清洗后）接觸角測(cè)試報(bào)告

① 帶字玻璃樣品清洗后接觸角數(shù)據(jù)

② 不帶字玻璃樣品清洗前接觸角數(shù)據(jù)