型號(hào)SPV-100 | 外形尺寸900*1750*1000mm(寬*高*深) |
重量 500KG | 設(shè)備外觀顏色銀灰色 |
射頻電源 | |
功率0~600W | 頻率13.56MHz |
中頻電源 | |
功率0~2000W | 頻率40KHz |
腔體內(nèi)部尺寸450*450*500mm(寬*高*深) |
厚度25mm |
材質(zhì)鋁合金(可定制不銹鋼腔體) |
密封性軍工級(jí)焊接密封 |
電極板有效尺寸322*351mm(寬*深) |
可用空間間距22.5mm |
工作空間8層 |
工作托盤(pán)標(biāo)配一套,材質(zhì)可選配(鋁材、鋼絲網(wǎng)) |
電極板布置方式水平布置,可活動(dòng)抽取 |
雙級(jí)旋片泵(油泵)60m3/h |
真空管路全不銹鋼管路,以及高強(qiáng)度真空波紋管 |
流量范圍0~300SCCM | 工藝氣體氣路標(biāo)配兩路,可定制 |
系統(tǒng)控制PLC | 交互方式7寸觸控屏幕 |