| 型號SPV-150 | 外形尺寸940*1755*1100mm（寬*高*深） |
| 重量 600KG | 設(shè)備外觀顏色銀灰色 |
| 射頻電源 | |
| 功率0~600W | 頻率13.56MHz |
| 中頻電源 | |
| 功率0~2000W | 頻率40KHz |
| 腔體內(nèi)部尺寸500*500*600mm（寬*高*深） |
| 厚度25mm |
| 材質(zhì)鋁合金（可定制不銹鋼腔體） |
| 密封性軍工級焊接密封 |
| 電極板有效尺寸372*451mm（寬*深） |
| 可用空間間距34mm |
| 工作空間8層 |
| 工作托盤標(biāo)配一套，材質(zhì)可選配（鋁材、鋼絲網(wǎng)） |
| 電極板布置方式水平布置，可活動抽取 |
| 泵組雙級旋片泵（油泵）或羅茨泵+單級旋片泵 |
| 真空管路全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管 |
| 流量范圍0~300SCCM | 工藝氣體氣路標(biāo)配兩路，可定制（氬氣、氧氣、氮?dú)狻錃?、四氟化碳?/span> |
| 系統(tǒng)控制PLC | 交互方式7寸觸控屏幕 |
