型號SPV-150 | 外形尺寸940*1755*1100mm(寬*高*深) |
重量 600KG | 設(shè)備外觀顏色銀灰色 |
射頻電源 | |
功率0~600W | 頻率13.56MHz |
中頻電源 | |
功率0~2000W | 頻率40KHz |
腔體內(nèi)部尺寸500*500*600mm(寬*高*深) |
厚度25mm |
材質(zhì)鋁合金(可定制不銹鋼腔體) |
密封性軍工級焊接密封 |
電極板有效尺寸372*451mm(寬*深) |
可用空間間距34mm |
工作空間8層 |
工作托盤標(biāo)配一套,材質(zhì)可選配(鋁材、鋼絲網(wǎng)) |
電極板布置方式水平布置,可活動抽取 |
泵組雙級旋片泵(油泵)或羅茨泵+單級旋片泵 |
真空管路全不銹鋼管路,以及高強(qiáng)度真空波紋管 |
流量范圍0~300SCCM | 工藝氣體氣路標(biāo)配兩路,可定制(氬氣、氧氣、氮?dú)狻錃?、四氟化碳?/span> |
系統(tǒng)控制PLC | 交互方式7寸觸控屏幕 |