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表面處理與檢測(cè)整體解決方案
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SPV-24M微波在線(xiàn)片式真空等離子清洗機(jī)
SPV-24M微波在線(xiàn)片式真空等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品對(duì)比
SPV-24M微波在線(xiàn)片式真空等離子清洗機(jī)
專(zhuān)門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的微波在線(xiàn)片式真空等離子清洗機(jī),針對(duì)半導(dǎo)體芯?粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、?屬鍵合前處理。等離子體不帶電,不對(duì)精密電路造成損害,采用磁約束方式,可兼容微波結(jié)和磁路。
設(shè)備參數(shù)
型號(hào)
SPV-24M
設(shè)備尺寸
2308*1360*2064mm(長(zhǎng)*寬*高)
微波電源
雙微波電源2000W
容積
約24L
清洗產(chǎn)品范圍
80-280mm*25-90mm(長(zhǎng)*寬)
料盒尺寸范圍
180-290mm*28-93mm*200mm(長(zhǎng)*寬*高)
真空泵
干泵
氣路配置
標(biāo)配氧氣、氬氣兩路工藝氣體(可定制CF4氣體)
系統(tǒng)控制
工控系統(tǒng)
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