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晟鼎小講堂 | 微波等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體封裝的應(yīng)用

2022-07-06


Microwave PLASMA

微波等離子助力半導(dǎo)體封裝工藝

隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,半導(dǎo)體封裝要求越來(lái)越高,而作為提高封裝質(zhì)量的微波等離子清洗成為了不可缺少的工序。清洗的目的是徹底清除設(shè)備表面上的粒子、有機(jī)和無(wú)機(jī)雜質(zhì),以確保產(chǎn)品質(zhì)量。目前等離子清洗技術(shù)由于其突出的優(yōu)勢(shì)已經(jīng)被社會(huì)上高度重視并得到了廣泛的認(rèn)可。

芯片粘接前處理

去除材料表面污染物,去除氧化物利于焊料回流,改善芯片與載體鏈接,減少剝離現(xiàn)象,提高熱耗散性能。

金屬鍵合前處理

除金屬焊盤(pán)上的有機(jī)污染物,清除纖薄污染表層,提高鍵合強(qiáng)度和鍵合線拉力的均勻性。

光刻膠去除

去除殘留的光刻膠及其他有機(jī)物,活化和粗化晶圓表面,提高晶圓表面潤(rùn)濕性能。

塑封前處理

去除材料表面污染物,使芯片表面與塑封材料結(jié)合牢固,減少分層于氣泡等不良的產(chǎn)生。


半導(dǎo)體封裝

PLASMA處理整體解決方案

針對(duì)半導(dǎo)體封裝需求設(shè)計(jì)的微波處理整體解決方案,可根據(jù)產(chǎn)品特性及客戶(hù)需求,提供微波等離子自動(dòng)化系統(tǒng),并提供完善的在線式及腔體式產(chǎn)品系列予以選擇。


SPV-100MWR是一款用于半導(dǎo)體封裝環(huán)節(jié)的微波等離子清洗機(jī),配置磁流體旋轉(zhuǎn)架,增加plasma處理均勻度,高效、均勻的微波等離子體輸出,保障刻蝕效率。

研發(fā)創(chuàng)新

成就國(guó)產(chǎn)替代


晟鼎成立于2012年,致力于為全球用戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)的表面處理與檢測(cè)整體解決方案。集研發(fā)與設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品有半導(dǎo)體微波等離子清洗設(shè)備、等離子清洗機(jī)、接觸角測(cè)量?jī)x、USC干式超聲波清洗機(jī)、靜電消除器、精密?chē)娚湎到y(tǒng)等表面性能處理及檢測(cè)儀器設(shè)備。

晟鼎經(jīng)過(guò)多年持續(xù)的研發(fā)投入和技術(shù)積累,先后研發(fā)出微波等離子清洗機(jī)、在線片式微波等離子清洗機(jī)、離線式微波plasma去膠機(jī)等設(shè)備,可用于半導(dǎo)體行業(yè)的封裝段工藝,以及用于晶圓制造工藝段中等離子活化、除膠、刻蝕。

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