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RTP快速退火爐（Rapid Thermal Processding簡稱RTP）是一種用于半導(dǎo)體器件制造和材料研究的設(shè)備，通過控制加熱和冷卻過程中的溫度和時(shí)間，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的精準(zhǔn)控制和優(yōu)化處理。使用上下兩層紅外鹵素?zé)艄茏鳛闊嵩醇訜?，?nèi)部石英腔體保溫隔熱，腔體外殼為水冷鋁合金，使得制品加熱均勻，且表面溫度低。
等離子清洗機(jī)具有表面活化功能，通過等離子體的作用，能夠完全去除擋風(fēng)玻璃表面的有機(jī)物和其他污染物，從而增加了表面能，提高了油墨、涂層或其他材料與擋風(fēng)玻璃表面的附著力。針對(duì)汽車玻璃制程中印刷、粘接工藝前，可使用等離子清洗機(jī)、USC超聲波除塵達(dá)到表面活化、精細(xì)除塵的目的。
汽車行業(yè)正處于一個(gè)快速變革和發(fā)展的時(shí)期，傳統(tǒng)的內(nèi)燃機(jī)技術(shù)持續(xù)改進(jìn)，而新的能源和驅(qū)動(dòng)技術(shù)也在快速崛起，電動(dòng)化和智能化將成為主流。而等離子技術(shù)則為汽車行業(yè)的變革發(fā)展“保駕護(hù)航”，提高點(diǎn)膠、粘接、貼合、焊接、涂覆、封裝等工藝段質(zhì)量，滿足汽車產(chǎn)業(yè)嚴(yán)格的生產(chǎn)要求，確保汽車產(chǎn)品具有始終如一效果。
USC干式超聲波除塵可快速、有效將產(chǎn)品表面的浮塵顆粒進(jìn)行清除，保證極片后續(xù)噴涂、封裝等工序的質(zhì)量。大大降低故障率，提升產(chǎn)品良品率。
快速退火爐廣泛應(yīng)用于IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導(dǎo)體和功率器件等多種芯片產(chǎn)品的生產(chǎn)，以及歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長、消除應(yīng)力和致密化等工藝當(dāng)中。
在光伏電池制程中，等離子表面處理可用于玻璃基板表面活化，陽極表面改性，涂保護(hù)膜前處理等，在提高光伏元件表面親水性、附著力等方面具有顯著的優(yōu)勢(shì)。同時(shí)，需要解決光伏電池制程中的塵埃污染問題。浮塵顆粒會(huì)附著在基材表面，不僅影響光電轉(zhuǎn)換效率，還可能引發(fā)電池內(nèi)部故障。
