微波等離子清洗機(jī)提升芯片Die Bonding工藝可靠性
2024-01-24
半導(dǎo)體芯片作為現(xiàn)代電子設(shè)備的核心組成部分,其質(zhì)量和可靠性對(duì)整個(gè)電子行業(yè)至關(guān)重要。Die Bonding是將芯片裝配到基板或者框架上去,基板或框架表面是否存在有機(jī)物污染和氧化膜,芯片背面硅晶體的浸潤(rùn)性等均會(huì)對(duì)粘接效果產(chǎn)生影響,傳統(tǒng)的清洗方法已經(jīng)無(wú)法滿足對(duì)芯片質(zhì)量的要求。使用微波PLASMA等離子清洗機(jī)處理芯片表面能有效地清潔并改善表面的浸潤(rùn)性,從而提升芯片粘接的效果。
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